上海集迦電子科技有限公司致力于泛半導(dǎo)體行業(yè)高端傳感器，量測系統(tǒng)的研發(fā)和制造，
提供領(lǐng)先的熒光式光纖溫度傳感器、In-situ晶圓量測傳感器(振動、水平度、位置、濕度、溫度等多物理量)、其他物理量測試方案。
公司具有雄厚的科研和制造實(shí)力，擁有多位資深的專家和經(jīng)驗(yàn)豐富的傳感器研發(fā)團(tuán)隊(duì)。
晶圓原位溫度及其他物理量傳感器是現(xiàn)代集成電路設(shè)備和芯片生產(chǎn)制程中必要的檢測工具，廣泛用于工藝腔體類設(shè)備的調(diào)試、芯片制造工藝驗(yàn)證等，是提高晶圓良率和產(chǎn)量的利器。
其應(yīng)用場景覆蓋光刻、干刻、薄膜沉積、離子注入、清洗、封測等先進(jìn)制程和工藝。晶圓傳感器具有獨(dú)特的設(shè)計(jì)和可客制化制造的特點(diǎn)。

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